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测量表面平坦度:≦0.5μm测量表面并行性:≦3μm测量范围(mm):10-30 制造商代码:4455000 测量压力(n):13.5(840fs10-30-30-30-30-30,30-30-30-60,60-60,60-100,15(84) 150-200)
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