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分辨率:0.01μm功率消耗:115 MA测量范围:±200μm快速数据传输速度大大降低了测量数据的丢失,从而实现了高度可靠的动态测量。 探针连接数:2 尺寸l x w x H(mm):54 x 54 x 66 错误限制:0.3%( 小0.04μm)测量范围(mm):±0.2
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